探針卡(probe card)是半導體工藝過程中晶圓測試(wafer test)中被測芯片(chip)和測試機之間的接口,其使用原理是將探針卡上的探針與芯片上的焊墊(pad)或凸塊(bump)直接接觸,導出芯片訊號。再配合周邊測試儀器與軟件控制達到自動化量測晶圓。
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